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            平板顯示的解決方案

            平板顯示器市場競爭激烈,技術多樣。針對于此,制造商致力于開發更高分辨率的顯示器、新的制造技術和更具成本效益的生產工藝。涉及到環境空氣,工藝制程氣以及液體制程的污染控制要求比以往更高。高等級制程需要將越來越小的污染物控制在更微小的濃度水平。在關鍵工藝步驟中,大面積面板上積累灰塵顆粒的可能性非常高,所以需要的送風量和循環風量很大,來提高空氣潔凈度,從而控制產品質量。

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